超纯应材：5nm及以下制程刻蚀设备核心零部件已稳定量产 科技新闻 2026-10-20 43 阅读 来源：原文 ← 南方基金旗下科创人工智能ETF南方(589230)标的指数大涨近5%，行业盛会启幕、英伟达加速AI工厂战略落地 午间涨跌停股分析：60只涨停股、1只跌停股，智能音箱概念活跃，科森科技2连板，瑞芯微、恒玄科技等涨停 →
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